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Halbleiter

Hierfür fertigen wir Bauteile für Dry Etch, CVD oder thermische Prozesse aller bekannten OEM (AMAT, TEL, LAM, …) Anlagen bzw. sind auch für bestimmte Kunden ausschließlich OEM Lieferant. Dazu gehören auch Sonderbauteile zur Anlagenoptimierung in Zusammenarbeit mit unseren Kunden.

Typische Produkte für den Halbleitermarkt sind

Silicium-Ringe (Insert Ringe, Focus Ringe, …) bis 18“ Wafer Anwendungen
Halbleiter - Focus- / Insert-Ringe
Foto: Focus- / Insert Ringe

 

Lochscheiben (Showerheads / Elektroden) bis 18“ Wafer Anwendungen
Lochscheiben (Showerheads / Elektroden)bis 18“ Wafer AnwendungenLochscheiben (Showerheads / Elektroden)bis 18“ Wafer Anwendungen
Foto: Showerheads                                                  Electrode

 

Sonderwafer bzw. Waferbearbeitung

– Durchmesser oder Dicke
– Materialeigenschaften: Dotierung / Widerstände
– Strukturen und Geometrie
– besondere Kristallausrichtung (Kippwinkel der Kristallebene)

 

Waferträger zum Fixieren oder handeln von Standardwafern

– Si-Wafer als Träger
– Einschleifen von bestimmten Durchmessern
– Vertiefungen (Restdicken von 0,25 mm möglich)
– Waferträger aus Quarz oder Keramik
– Less Arm
– Quarz- / Keramikgabeln bzw. Greifer
Waferträger zum Fixieren oder handeln von StandardwafernWaferträger zum Fixieren oder handeln von Standardwafern

 

Silicium-Boote für Hochtemperatur-, Beschichtungs- und Diffusionsprozesse

– hochreines Silicium (Material kann hinsichtlich Dotierung und Widerstand an die zu prozessierenden Wafer angepasst werden). Deutlich bessere Partikelraten als SiC oder Quarz.
– für jedeWafergröße von 1“ -18“ Wafer möglich
– Längen bis 1500 mm realisierbar.
– Verwendung einer besonderen Schraubtechnik, die wir eigens für diese Prozesse entwickelt und
optimiert haben, um unseren Kunden folgende Vorteile zu verschaffen:
– einfacherer Transport (kann in Einzelteile transportiert werden)
– Austausch nur von defekten Komponenten (Kostenvorteil)
– keine Fremdstoffe (wie evtl. durch Schweißen oder Verkleben), ausschließlich hochreines Silicium
– einfache Montage durch spezielle Werkzeuge und Montagevorrichtungen

Silicium-Boote für Hochtemperatur-, Beschichtungs- und DiffusionsprozesseSilicium-Boote für Hochtemperatur-, Beschichtungs- und DiffusionsprozesseSilicium-Boote für Hochtemperatur-, Beschichtungs- und Diffusionsprozesse
Foto: Zusammengebautes 8“ Boot (Länge: 1100 mm) // Schalen- / Winkelboote / Bootkomponenten

 

Quarzbauteile

Anlagenbauteile aus Quarz

– Spider
– Anschlüsse für Reinigungs- und Ätzanlagen
– Pins
– Wafercarrier

QuarzbauteileQuarzbauteile
Foto: Quarzkomponenten