Targets in verschiedenen Größen.

Im Bereich der Beschichtungs- bzw. Dünnschichtindustrie (Sputter Industrie) ist Silicium ein wesentliches Element für die Beschichtung verschiedenster Materialien und Anwendungsbereiche (Fensterglas, Displays bis hin zu DVD und Blu-Rays).  

Wir können Ihnen Targets verschiedener Größen und Geometrie anbieten.

• Durchmesser bis ca. 700 mm (poly oder mono)
• Rechtecke von ca. 500×800 mm² als Einzelteil
• Jede Form (Rund, Radien, Freiformen) sind durch unseren CNC Maschinenpark möglich
• Rohrtargets
• MBE ( Komponenten aus hochreinem Silicium (> 5000 Ohmxcm)

Bestmögliche Materialauswahl.

Wir bieten Ihnen, je nach Prozess, die bestmöglichen bzw. gewünschten Widerstand und Dotierung des Siliciums an:

• Poly oder Mono Silicium
• Reinheit von 5N bis 11N.
• Standardwiderstände 0,5-2,5 Ohmxcm und <0,02 Ohmxcm, mit p/Bor Dotierung
• Sonderdotierung von n-Typen aus As, Phosphor,… für mono Targets sind möglich 
• Undotiertes Silicium