Halbleiter

Halbleiter

Ihre Prozesse verdienen
die bestmöglichen Komponenten.

Der Halbleitermarkt unterliegt dem stetigen Druck die Weiterentwicklung hinsichtlich Präzision, Reinheit und Qualität der verwendeten Materialien voranzutreiben. Deshalb sind Sie bei uns genau an der richtigen Adresse, um Ihre Prozesse mit den bestmöglichen Komponenten auszustatten.

Hierfür liefern wir Komponenten für allen Anlagentypen und Wafergrößen bis 450 mm.

Consumables

Consumables sind Ersatz- / Verschleißteile für Etch-, CVD- und PVD-Prozesse, die in der Regel zu höheren Stückzahlen (>20 Stk. / Monat) benötigt werden, da sie Prozessen ausgesetzt sind, die zu erhöhtem Verschleiß führen. 

Hierzu gehören z.B. 

  • Insert- / Focus Ringe
  • Shower Heads
  • Pocketwafer / Carrier Wafers
  • Susceptoren

Anlagenteile / Sonderkomponenten.

Hier kommt sehr oft eine enge Zusammenarbeit mit unseren Kunden zu tragen, um gemeinsam die optimale Lösung und technische Umsetzung zu finden. 

  • Entwicklung
  • Prototyp
  • Serienprodukt
  • Stetige Weiterentwicklung
  • Langfristiger Erfolg und Optimierung

Si-Boote 

Mit mehr als 500 Boote (bis 2021 – stetig steigend) im Markt vertrauen weltweit führende Chiphersteller auf unsere Boote und konnten damit ihre Prozesse optimieren, die Ausbeute steigern und somit die Kosten senken. 

Aufgrund unser einzigartigen Fertigungstechnologie, können wir Ihnen folgende Vorteile bieten:

  • Austauschbare Teile: Jedes Bauteil sei es Grundplatte, Deckplatte oder einzelne Rods können ersetzt werden. 
  • Wir passen den Waferkontakt auf ihren Prozess an. Hierfür gibt es eine Vielzahl von Möglichkeiten, die wir in den vergangen 10 Jahren entwickelt und optimiert haben. 

Im Ergebnis bedeutet dies:

  • Weniger Sleep Lines
  • Weniger Scratches
  • mehr Ausbeute (Yield)
  • weniger Kosten 

Alle unsere Boote sind so konstruiert, dass Sie auf allen gängigen Anlagen, wie ASM, TEL, KE, … ohne Anpassungen eingesetzt werden können. 

Wir finden für Ihren Prozess das optimale Boot!

  • Vertikal-Boote / Schalenboote
  • Horizontal Boote:
    • Short- oder Longfinge
    • 3-  oder 4- Rod
    • Sonderboote (kundenspezifische Konstruktionen)

Die Anwendungsgebiete decken alle Prozesse ab:

  • Oxidation
  • Annealing
  • Poly und Nitrid Coating
  • Special Customer Process

Zusätzliches Ofen Equipment

Silizium Rohre für vertikale und horizontale Ofenprozesse

Durch eine einzigartige Verbindungstechnologie (zusammenfügen mehrerer Rohrsegmente) können wir jede Länge und Durchmesser realisieren. Mit einer speziellen Nachbehandlung sind die Rohre auch gasdicht.

Pedestals

Passend und optimiert für jeden Boottyp können wir auch das entsprechende Pedestal liefern. Hier kommt auch die spezielle Verbindungstechnologie zum Einsatz, die auch bei den Booten verwendet wird.

Injektoren

Optimaler Ersatz für gängige SiC- und Quarz-Injektoren. Längere Standzeit -> weniger Wartung -> höherer Durchsatz