Thin Film / Coating Industry / Target

Thin Film / Coating Industry / Target

Targets in verschiedenen Größen.

Im Bereich der Beschichtungs- bzw. Dünnschichtindustrie (Sputter Industrie) ist Silicium ein wesentliches Element für die Beschichtung verschiedenster Materialien und Anwendungsbereiche (Fensterglas, Displays bis hin zu DVD und Blu-Rays).  

Wir können Ihnen Targets verschiedener Größen und Geometrie anbieten.

  • Durchmesser bis ca. 700 mm (poly oder mono)
  • Rechtecke von ca. 500×800 mm² als Einzelteil
  • Jede Form (Rund, Radien, Freiformen) sind durch unseren CNC Maschinenpark möglich
  • Rohrtargets
  • MBE ( Komponenten aus hochreinem Silicium (> 5000 Ohmxcm)

Best possible choice of materials.

We offer, depending on the process, the best possible or desired resistance and doping of the silicon:

  • Poly or Mono Silicon
  • Purity from 5N to 11N.
  • Standard resistivity 0,5-2,5 Ohmxcm and < <0,02 Ohmxcm, with p/Boron doping
  • Special doping of n-types of As, phosphorus,… for mono targets are possible
  • Undoped silicon